Российские специалисты продвигаются в области EUV-литографии

02.12.2024, 10:15, Разное
  Подписаться на Telegram-канал
  Подписаться в Google News
  Поддержать в Patreon

Ученые из российского университета МЭИ объявили о создании нового источника излучения, предназначенного для применения в оборудовании EUV-литографии. В сравнении с существующими отечественными решениями он отличается повышенным КПД за счет добавления лития к гелиевому плазменному заряду.

Пока источник существует в виде экспериментального образца, но проведенные масштабные исследования доказали, что дополнение гелиевого плазменного разряда литием позволит создавать стационарные источники, востребованные в EUV-литографии.

В будущем разработанный в МЭИ источник обеспечит массовый выпуск чипов и однокристальных систем по более тонким технологическим процессам, что заметно снизит их размеры, а также повысит быстродействие и улучшит энергоэффективность.

На текущий момент создан прототип перспективной разработки и ведутся работы по созданию передовых российских литографов на основе данного источника излучения.




Смотреть комментарииКомментариев нет


Добавить комментарий

Имя обязательно

Нажимая на кнопку "Отправить", я соглашаюсь c политикой обработки персональных данных. Комментарий c активными интернет-ссылками (http / www) автоматически помечается как spam

ЧИТАЙТЕ ТАКЖЕ

16.06 / В Иране осудили Сталина за «руководящую и направляющую роль» в создании государства Израиль

16.06 / Саломе Зурабишвили обвинила Михаила Саакашвили в подготовке государственного переворота

15.06 / Маск объявил, что передал в Иран две тысячи терминалов Starlink

15.06 / «5-я статья авансом»: в НАТО заявили о готовности немедленно защитить Израиль от неспровоцированной агрессии Ирана

15.06 / Фонд Сороса выдвинул Нетаньяху на Нобелевскую премию мира

15.06 / Учёные не в силах объяснить, почему гранёный стакан Ельцина по ночам сам наполняется водкой

15.06 / Марсоход Perseverance сделал снимок, на котором отчётливо виден герб России

15.06 / Мнение: Немецкая армия предпочитает коренных немцев

14.06 / Германия объявила о немедленной передаче Израилю сотен ракет TAURUS

14.06 / Грета Тунберг организовала в Стокгольме акцию «Вперёд, Иран!»

Политика конфиденциальности - GDPR

Карта сайта →

По вопросам информационного сотрудничества, размещения рекламы и публикации объявлений пишите на адрес: rybinskonline@gmail.com

Поддержать проект:

PayPal - rybinskonline@gmail.com; Payeer: P1124519143; WebMoney – T323003638440, X100503068090, Z399334682366

18+ © 2002-2025 РЫБИНСКonLine: Все, что Вы хотели знать...

Яндекс.Метрика